Veolia水务技术与方案

微电子

稳定的超纯水(UPW)生产对于微电子产品制造至关重要。Veolia深知提供最可靠、高质量、最具成本效益的解决方案的重要性,同时绝不在安全或环境管理方面作出妥协。我们凭借着在环境管理方面的经验、能力和承诺,成为了微电子行业水和废水处理解决方案领域值得信赖的合作伙伴。

微电子

稳定的超纯水(UPW)生产对于微电子产品制造至关重要。Veolia深知提供最可靠、高质量、最具成本效益的解决方案的重要性,同时绝不在安全或环境管理方面作出妥协。我们凭借着在环境管理方面的经验、能力和承诺,成为了微电子行业水和废水处理解决方案领域值得信赖的合作伙伴。

微电子超纯水、废水回用和零液体排放解决方案

Veolia为微电子行业提供全面的水处理、废水回用和零液体排放解决方案组合。我们的团队拥有超过40年的直接微电子经验,曾在十几个国家为超过50家客户成功执行了390多个大型项目。我们的愿景是预测和开发应对未来挑战的解决方案,首当其冲的任务是对当今最先进的技术进行严格测试,这也令Veolia成为了微电子行业值得信赖的合作伙伴。

  • 超纯水处理:我们提供全面的超纯水处理解决方案,包括设计、设备、服务、操作、耗材、备件等,可保持最高水平的水纯度,以满足并超过当前(PPT)和未来(PPQ)先进节点制造的规格。
  • 分离废水处理和回用:微电子产品制造过程中会使用大量的化学品。因此,微电子工厂的废水中含有无法排放的污染物。Veolia可以优化每道工序的产量,从而提高产量和降低制造成本,还可以过滤出废水中的污染物,显著降低废物处理成本,清洁的渗透液还可以重复使用,进一步节省了成本并保护环境。
  • 管道末端(EOP)零液体排放系统: 
    • 均衡和过氧化物淬火 - 去除硬度和二氧化硅,将固体输送到传送带/压滤机
    • 生物处理 - 去除生物营养物,膜生物反应器 - 去除有机物和固体,将污泥送至螺旋/带式压滤机
    • 通过离子交换、强制通风或膜脱气、高pH值RO、超高压RO(UHPRO)、低盐截留率RO(LSRRO)或渗透辅助RO(OARO)进行回收,并进行渗透液回收/再利用
    • 加热ZLD - 浓缩盐水,结晶后通过离心机
  • 公用事业:Veolia为冷却塔、PVAC、PCW、冷/热回路、锅炉、Memchem、预处理/后处理提供解决方案。
  • 紧急移动和临时桥梁解决方案、运营服务、资产维护和专家指导:为微电子行业提供灵活的解决方案,例如维护和服务合同、设计、项目管理、反渗透(RO)和紫外线(UV)系统和组件的安装与维修、RO膜清洁和水系统消毒、介质更换和重新铺设(碳、离子交换树脂)、仪器维修和校准、 纯水膜、滤芯、过滤器和化学品。我们可根据需要提供紧急或长期服务,对超纯水、去矿物质水甚至电去离子水进行处理。
  • 仪器和控制:在线、便携式和实验室总有机碳(TOC)分析仪可对微电子水和废水流进行超精确分析,以检测超纯水回路或超纯水补给中的污染,检测制造化学品,并执行回收监测和诊断测试。

概览

微电子应用

Veolia专注于为微电子行业构建整体和集成方案。我们提供处理水、废水和废物的解决方案。

 

图解

 

应用

微电子应用

  • 超纯水处理系统包括用于以下方面的技术:
    • 补充:多媒体过滤、活性炭滤芯、用于RO预处理的超滤、双通道RO/高pH值RO
    • 初级:初级紫外线,电去离子,初级混合床过滤,用于去除O2的气体传输膜 精制:
    • 精制紫外线、冷却器和精制混合床过滤以及超滤
    • 热超纯水:热超纯水增压泵、热回收交换器和热超滤。
  • 废水回用/回收系统pH中和处理、降低TOC/BOD/LOD、去除悬浮固体、减少氨、减少磷酸盐、去除铜、去除氟化物、去除砷、CMP废水处理和微滤。这些工艺可在以下应用中实现现场废水回用:
    • 工艺用水
    • 超纯水
    • 直通式冷却
    • 锅炉给水
    • 其他公用水需求,例如洗涤、消防、灌溉
  • 管道末端(EOP)零液体排放系统
    • 均衡和过氧化物淬火 - 去除硬度和二氧化硅,将固体输送到传送带/压滤机
    • 生物处理 去除生物营养物,膜生物反应器 - 去除有机物和固体,将污泥送至螺旋/带式压滤机
    • 通过离子交换、强制通风脱气、高pH值RO - 渗透液回收/再利用和盐水浓缩进行回收
    • 加热ZLD - 浓缩盐水,结晶后通过离心机

冷却塔水处理

腐蚀、沉积、污垢以及微生物滋生均会扰乱您的运营。Veolia……

水处理去离子

水中如果存在溶解离子,就可能带来问题,具体取决于......

去除重金属

随着业界认识到潜在的环境影响,有关重金属流出物限制的法规正变得越来越严格……

监测系统

通过监测工业用水和废水处理过程,您可以保护资产…

产品与服务

面向微电子行业的产品和服务

超纯水处理系统

 

  • 给水储罐
  • 给水输送泵
  • 混合水过滤
  • 活性炭或催化炭
  • 给水换热器
  • 弱酸性阳离子软化剂
  • 高pH值RO系统
  • RO渗透储罐
  • 初级分配泵
  • 初级膜脱气器
  • 初级TOC降低紫外线
  • 电去离子系统
  • 主IS柱
  • 初级后过滤
  • UPW储罐
  • 精制分配泵
  • 精制膜脱气器
  • 精制TOC降低紫外线
  • 精制冷却换热器
  • 精制IX柱
  • 精制预最终过滤
  • 精制最终过滤或UF
  • 精致回流TOC降低紫外线
  • 精制回流过滤
  • PLC控制和HMI系统
  • 仪表包
  • 分析软件包
  • 数据趋势包

废水回用和ZLD

  • 移动床生物反应器(MBBR)
  • 膜生物整流器(MBR)
  • 高速软化和澄清
  • 精制
  • 高pH值RO
  • 脱气
  • 超高压反渗透(UHPRO)
  • 低脱盐反渗透(LSRRO)/ 渗透辅助反渗透(OARO)
  • 热蒸发器和结晶器

 

耗材/资产保养

  • 阻垢剂、消泡剂、混凝剂/絮凝剂、膜清洗剂
  • 备件
  • MBR膜盒
  • 专家指导
  • 抗菌剂和杀菌剂
  • 备件
  • MBBR媒体

 

 

深度滤芯

避免压降,增加纳污量,延长过滤器寿命

案例研究