稳定的超纯水生产和监测
Veolia为要求严苛的半导体市场打造了完全集成的UPW和回收/循环系统。Veolia专注于关键的微电子产品制造领域,包括锅炉、冷却塔、闭路系统、CMP、流入水和废水系统、监测以及诊断。此外,Veolia还打造了针对洗涤器的UPW系统和工艺处理。
这对您意味着什么:
- 适用于CMP、晶片抛光、清水冲洗、切割和背面研磨的即用型UPW
- 来自海水或苦咸水水源的UPW
- 通过废水处理减少重金属、废酸、颗粒物和有机物含量
- 水回收和回用系统
- 节能计划
- 用于超纯水和再生水的各种高灵敏度的总有机碳分析仪;用于硼/二氧化硅控制的超纯水硼分析仪。