Veolia水务技术与方案

微电子

稳定的超纯水（UPW）生产对微电子产品制造至关重要。Veolia可帮助您保证产率、节约成本，并改进环境法规合规性。

微电子

稳定的超纯水（UPW）生产对微电子产品制造至关重要。Veolia可帮助您保证产率、节约成本，并改进环境法规合规性。

概览

稳定的超纯水生产和监测

Veolia为要求严苛的半导体市场打造了完全集成的UPW和回收/循环系统。Veolia专注于关键的微电子产品制造领域，包括锅炉、冷却塔、闭路系统、CMP、流入水和废水系统、监测以及诊断。此外，Veolia还打造了针对洗涤器的UPW系统和工艺处理。

这对您意味着什么：

  • 适用于CMP、晶片抛光、清水冲洗、切割和背面研磨的即用型UPW
  • 来自海水或苦咸水水源的UPW
  • 通过废水处理减少重金属、废酸、颗粒物和有机物含量
  • 水回收和回用系统
  • 节能计划
  • 用于超纯水和再生水的各种高灵敏度的总有机碳分析仪；用于硼/二氧化硅控制的超纯水硼分析仪。

应用

微电子应用

冷却塔水处理

腐蚀、沉积、污垢以及微生物滋生均会扰乱您的运营。Veolia……

水处理去离子

水中如果存在溶解离子，就可能带来问题，具体取决于......

去除重金属

随着业界认识到潜在的环境影响，有关重金属流出物限制的法规正变得越来越严格……

监测系统

物理资产和TOC监测，以优化化学品消耗并满足水质……

产品与服务

面向微电子行业的产品和服务

深度滤芯

避免压降，增加纳污量，延长过滤器寿命
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*Veolia商标；可能已在一个或多个国家/地区注册。