Veolia水务技术与方案

Sievers Boron Ultra为微电子制造带来无与伦比的控制力

Isidro Sanchez
| 2025年2月13日 |
半导体
分析仪器
Veolia
产品创新

Sievers分析仪产品组合再次扩展,以满足微电子行业的严格要求。预计到2032年,微电子制造市场将从2023年的5097亿美元增长至9344亿美元。随着半导体器件变得越来越小、越来越复杂,该市场对关键资源超纯水(UPW)的需求也将继续增长。

新款 Sievers Boron Ultra在线超纯水分析仪是最新一代的Sievers硼分析仪产品系列,是市场上唯一一款能够监测超纯水中硼含量的实时在线硼分析仪,最高可达万亿分之一(ppt),超过了国际设备和系统路线图(IRDS)50 ppt的规格。

半导体 制造 是一个严格的过程,即使是微量的污染物也会导致重大缺陷和产品良率降低。水几乎在生产的每个阶段都会与产品相互作用,是潜在污染的主要来源。Sievers Boron Ultra分析仪提供实时、连续的硼测量,为工艺工程师提供保障产品完整性和优化水管理系统所需的数据。

通过在单 ppt 水平上检测硼,该分析仪可提供最前瞻性的离子交换过程监控--在离子交换树脂接近耗尽时,硼的突破先于二氧化硅和其他离子污染,因此可提供重要的洞察力。这样,制造商就能优化树脂管理方法,减少原材料浪费,延长树脂寿命,最大限度地降低运营成本。

Sievers Boron Ultra为超纯水系统中的硼检测树立了新标准。与前代产品相比,主要改进包括:

  • 增强的灵敏度和速度: 将灵敏度从 15 ppt 提高到 10 ppt,并通过每小时高达 20 个实时数据点的新采样频率提高了数据分辨率,从而对潜在问题做出快速反应。
  • 易用性: 简化的设置和直观的诊断功能降低了维护要求,使操作员更容易使用。
  • 应用灵活: 该分析仪能够测量初级和精制循环中的硼含量,确保符合严格的硼规格,并支持工艺优化工作。
  • 法规遵从性: Sievers Boron Ultra拥有CE、UKCA、ETL、UL Std. 61010-1和CSA 22.2 No. 61010-1安全认证和IP 45等级,符合严格的全球标准。

Sievers Boron Ultra是现代超纯水质量管理计划的基石。通过提供无与伦比的实时检测功能,该分析仪可帮助制造商主动管理离子交换过程,防止离子污染事件,保护下游工艺,并提高产品产量。其先进的技术可实现更明智的决策,确保最佳的水质和工艺效率。

凭借在超纯水分析领域数十年的经验,Sievers在创新和可靠性方面继续引领行业。硼超高分析仪以这一传统为基础,为微电子行业提供了满足当今严格的纯度要求和应对未来新挑战所需的工具。

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关于作者

Isidro Sanchez

Sievers分析仪器半导体产品经理

Isidro Sanchez是Sievers分析仪器(现隶属于Veolia水务技术与方案)的半导体产品经理。加入Veolia之前,Isidro曾担任产品经理和应用工程师,为半导体市场提供气溶胶和气体颗粒以及空气分子污染控制方面的支持。Isidro于2005年开始了半导体行业的职业生涯,并在科罗拉多州和亚利桑那州的大批量晶圆厂制造中担任过多个职务,包括微污染和良率工程师、计量工具所有者和先进封装工业工程师。Isidro曾就读于科罗拉多大学博尔德分校,获得了化学工程学士学位;还曾就读于亚利桑那州立大学,获得了工业工程硕士学位和MBA学位。