Veolia水务技术与方案

半导体设备供应商通过与Veolia合作减少耗水量

 

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挑战

ASM是全球领先的半导体晶圆加工设备供应商,业务遍及美国和全球其他14个国家。该公司为世界领先的半导体制造商提供创新的技术解决方案,同时通过自身运营和价值链中的可靠、可持续行动来实现这一目标。ASM致力于加速可持续发展计划,目标是到2035年实现净零运营。

2018年,ASM位于亚利桑那州凤凰城的美国运营团队与Veolia会面,探讨减少环境足迹的方法,尤其是在节水方面。ASM工厂位于一个对用水量审查严格的地区。鉴于ASM致力于在全球范围内改善和推动可持续发展,Veolia与ASM合作开展了一个多年项目,以减少ASM在凤凰城工厂的用水量。

解决方案

Veolia团队与ASM合作开展的审计得出的结论是,冷却塔系统是工厂最大的用水设施之一,可以通过优化其运行来减少所需水量。

冷却系统为生产设备和提供适当冷却,对于许多工业运营至关重要。整个设施中布置了复杂的管道,水在管道中循环,从各个区域收集热量并将其带回冷却塔。一部分温水在冷却塔蒸发,将热量散发到大气当中。蒸发会导致剩余水中溶解的固体和矿物质浓缩。为了防止这些矿物质形成沉积物,进而影响系统的可靠性和生产力,其中一部分矿物质会被排放到城市下水道中。

Veolia团队认为,冷却塔可以通过减少排放流量来减少用水量,但这会导致冷却塔所含的溶解固体增加。

Veolia鼓励ASM向市政当局提交减少冷却塔用水量的计划,并向运营者解释,尽管溶解固体可能会增加,但减少耗水量可以带来诸多改善。

结果

市政当局批准ASM设施改变其运营方式,并修改了将其冷却塔运营限制为2个运行周期的pm10许可,允许其运行3.25个周期。

浓缩周期的增加意味着冷却水系统的每日耗水量从28,000 USG下降到9,000 USG,减少了60%以上。

在一年的时间里,位于凤凰城的ASM工厂省水量超过了6.8 MMUSG。鉴于ASM对环境和社区做出的重大贡献,Veolia为ASM颁发了“环境回报奖”。

冷却系统水和化学品处理用量的减少,为ASM节省了总计约35,220美元。