用于微电子的TOC

最大限度地提高水生产产量并控制超纯水（UPW）质量

超纯水对于半导体器件制造至关重要。虽然达到这种纯度既复杂又昂贵，但对于保持产品质量和制造标准至关重要。

微电子制造商需要对多个纯度水平进行精确监测，从给水中的低百万分率 （ppm） 浓度到最终精制前的万亿分率 （ppt） 浓度。在分析用于回收和废水应用的复杂样品基质时，可能会出现额外的复杂性。

作为世界上最复杂、最精密的工艺之一，半导体制造需要严格控制高纯水。即使是微量污染物也会导致严重缺陷并降低产品产量，因此总有机碳 （TOC） 监测对于污染控制至关重要。

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